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本设备电器控制部分关键件均采用优质件,性能可靠,使用寿命长。本机台是一个人机界面加 PLC 控制的自动控制系统,操作者只须将花篮一组放置于load端上,再由 PLC 控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。