菏泽力芯-CDS 化学品集中供液系统

cds 是化学品集中供液系统的英文简称。CDS可以取代传统的人工手动配液、补液。随着湿化学设备在 LED、太阳能、MEMS、功 率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域 自动化程度的不断提高，CDS得到了越来越重要的应用。尤其在大扬程输送，精确配比等使用环境下，便体现出其极大地优势。

菏泽力芯电子生产的CDS可用于芯片生产过程双氧水、氨水、盐酸等液体的输送。系统主要由机架、引风单元、电控单元、供液 单元、管路单元及化学液分配阀箱(VMB)等部分组成。系统具有抗腐蚀性、毒性、耐 压、防燃防爆等功能，可保证操作者安全。可实现精确配比：系统连续供液（配液、补液）过程 中准确可靠，脉动性较好。支持泄漏警报功能：检测泄漏后紧急关闭系统(EMO)。